RIGOL 半導體測試｜分清靜態 I–V 與動態切換量測

RIGOL 原廠應用文件中文整理｜旭聯創新科技｜整理日期：2026/10/23

我們依晶圓、封裝後元件及功率半導體的測試目的，整理精密源量測與示波器動態分析的分工。

靜態測試與動態測試，量測重點不同

靜態測試著重設定電壓／電流後的元件特性，例如 I–V、漏電或導通狀態；動態測試則關心切換過程的瞬態。兩者需要不同的訊號來源、量測方法與接線配置。

原廠頁介紹 DSU2000 精密源量測單元與 SUP5000 多通道系統，應用包含晶圓與封裝後參數量測、Mini LED 驅動晶片測試。該頁仍有新品預告／預約文字，供貨、版本與可提供功能需向原廠確認。

原廠另提出 SiC／GaN 雙脈衝動態測試方向，結合示波器、探棒、訊號源與電源。我們會先核對待測元件、工作點、量測頻寬、共模條件及探棒校正需求。

若需連接探針台、分選設備或既有測試程式，應先盤點觸發介面、通道數、量測時間、資料格式及客製範圍。不能只憑原廠平台介紹就假設可直接替換所有既有系統。

提供待測物、訊號／供電範圍、通道數、想觀察的現象與報告需求，我們協助核對儀器、探棒、治具、軟體及配件。

原廠雙脈衝文件以半橋測試架構說明功率元件的動態量測。我們先依實際轉換器確認 MOS–二極體或 MOS–MOS 換流模式，再規劃匯流排供電、負載電感、驅動及保護，避免用不相符的測試條件比較元件。

依 DUT 額定與測試目標規劃電壓、電流及溫度條件；DG5000 Pro 產生雙脈衝驅動訊號，示波器同步擷取 VGS、VDS 與 IDS。
以第一個關斷及第二個開通事件，分析關斷／開通時間、Eoff／Eon、dv/dt、di/dt 與反向恢復等對應參數。比較不同閘極電阻或元件時，要保留相同測試條件。
量測高共模下的閘極訊號或上橋臂串擾時，依需求採用光隔離探棒；同時核對差動／共模範圍、頻率降額與實際接法。一般接地探棒不能當成隔離探棒使用。
計算切換能量前先核對電壓與電流通道的時間對齊；原廠方案包含探棒延遲補償。若通道不同步，即使波形看起來正常，也會影響瞬時功率與能量結果。